Система автоматизированного осаждения слоев кремния при пониженном давлении — компл | |
Система автоматизированного осаждения слоев кремния при пониженном давлении — компл |
Таблица 32-01-002. Вакуумное напылительное оборудование
Номер расценки | Наименование и характеристика работ и конструкций | ||
---|---|---|---|
Установка вакуумного напыления — компл | 135 | 3,05 | |
Система автоматизированного осаждения слоев кремния при пониженном давлении — компл | 162 | 4,36 |